2006 TEL Lithius Track

Wafer Size Range   Set Size 300 mm

Number of Tracks 1

Year of Manufacture 2006

Condition Good

Exterior Dimensions   Width 90.551  in  (230.0 cm)  

Depth 206.299  in  (524.0 cm)  

Height 135.433  in  (344.0 cm)

Weight 24,250  lb  (11,000 kg)