LAM 4520i

LAM 4520i Oxide Etcher 

Envision Software, ESC, Turbo pump, DTCU, etc

Software :  E1.6./002

ESC : Quel Type : 839-440 462-508

Loader (Hine 38) :  853-012500-002-E-3117

Computer type :   WINDOWS 10 

Orbital Welded gas box :853-024 401-181

Turbo pump / turbo Controller: TC440   OSAKA VACUM 

Cool down (He) : No Advant cooling system